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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
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對真空爐進行修理后，要進行烘爐、有必要對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。
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真空爐爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件外表不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐制品針孔少﹐偏析小﹑質量好。真空爐適用於高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
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真空燒結爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體維護燒結及常規燒結。是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它規劃構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完結多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
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在遇到突然停電、停水、停壓縮空氣等緊急狀況,應馬上采取以下應急辦法:包括應急氮氣、應急冷卻水。
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從產能來看，連續式燒結爐可以將脫脂與燒結一起完成，周期遠遠短于真空燒結爐，產量遠遠大于真空燒結爐。 從燒結后的產品質量來看，連續爐的燒出來的產品質量，外觀，穩定性遠高于真空爐。
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真空燒結爐是運用感應加熱對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，能夠歸屬于真空燒結爐的子類。真空感應燒結爐是在真空或保護氣氛條件下，運用中頻感應加熱的原理使硬質合金刀頭及各種金屬粉末壓制體完成燒結的成套設備，是為硬質合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業生產而設計的。
