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在真空爐中，石墨電極桿是一種重要的部件，其作用是作為真空爐的加熱元件之一，為爐內的資料供給熱能。

材料功用優化：經過浸漬樹脂或復合涂層技術進步石墨件的抗氧化性和機械強度，樹脂浸漬管等新式產品已廣泛運用于換熱領域。

石墨棒若均勻性差，會導致爐溫分布不均，需選用高純石墨（含碳量＞99.9%）并優化規劃空隙，避免與爐壁接觸發生應力。

多晶硅鑄錠爐中的石墨加熱器、護板及電極頭，單晶硅PEVCD工藝中的石墨舟與石墨架，均依托石墨的高溫穩定性和化學慵懶。

耐高溫與熱穩定性：石墨在2500℃以下機械強度隨溫度升高而增加，尤其在1700-1800℃時表現最佳，遠超金屬和氧化物材料。

石墨棒/管：作為中心發熱體，經過電流直接加熱，空心規劃可提升電能利用率。

石墨材料因其一起的物理化學特性，在真空爐作業中占有了不可替代的位置。