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當外界的壓力小于該溫度下的蒸氣壓時，金屬就會發生蒸騰(升華)現象，猶如樟腦在空氣中因升華作用而從固體變成氣體揮發掉相同。外界壓力越小，即真空度越高，就越簡單蒸騰。因此在真空爐內進行熱處理時，對蒸騰問題應予以應有的注重，以為只需提高真空爐的真空度，就能獲得杰出作用的觀點是不全面的，有必要依據工件的品種，充沛留意蒸騰的問題。即依據真空電爐中被處理的資猜中合金元素的蒸氣壓和加熱溫度，來挑選適宜的真空度，以避免合金元素的真空蒸騰。只需真空爐的真空度挑選適宜，是可以避免合金元素蒸騰的。
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真空爐之所以具有較多的優勢使其能夠適用于民間供熱的需求，和其本身的結構使不無關系的
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內熱式多級連續真空爐,因其處理流程短、產品質量高、幾乎零污染等利益,廣泛應用于二元合金的別離中。但真空爐內溫度測量難度大,溫度操控水平不高、功率低;對真空爐爐膛溫度場的現有研討仍存在許多問題。用模仿仿真核算真空爐溫度場各節點處的溫度,對別離不同合金具有重要意義。
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80年代以來，真空熱處理技能在我國迅速發展，引入先進設備增多，真空熱處理(井式爐熱處理工件的硬度檢測辦法)工藝使用日益廣泛。
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內熱式真空熱處理爐內熱式是在真空容器內有電熱體和絕緣物，容器自身為水冷。處理溫度低時，僅對真空密封部份水冷或不水冷。與外熱式相比，內熱式真空爐因工件面對發熱體，所以熱效率高。發熱體材料有電熱合金（如Fe-Cr、Ni-Cr、Fe-Cr-Al）、半金屬（SiC、MoSi2）、以及鋯發熱體（ZrO2）等。
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由于真空熱處理爐發熱元件的材料和結構直接影響真空爐的效率和運用壽命,因而合理選擇發熱元件是真空爐的關鍵問題之一。
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跟著真空閥熱處理爐水平的進步，真空熱處理有著獨特的優越性，并且真空熱處理憑仗脫氣、脫脂、無氧以及自動化等一系列優勢獲得了業界的人士的喜歡，可是值得重視的是真空熱處理爐對熱彎玻璃石墨模具有著較高的規范，電熱元件高溫變形、開裂、揮發等都成了限制真空爐打開的重要因素。
