真空爐即在爐腔這一特定空間內利用真空體系(由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經過精心組裝而成)將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內空間然后實現真空狀況，這就是真空爐。
在挨近真空狀況下經過電熱元件加熱的工業爐、實驗爐。真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵體系聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內加熱體系可直接用硅碳棒或硅鉬棒通電加熱，也可用高頻感應加熱。最高溫度可達2000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷、金屬封接等。
真空爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空體系、供電體系和控溫體系等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。