真空熱處理是真空技術與熱處理相結合的綜合技術，是指熱處理過程的全部或部分在真空狀態下進行。在中國，真空分為低、中、高、超高真空。目前，大多數真空熱處理爐的工作真空度為1.33 ~ 1.33× 10 ˉ Pa。
1.真空熱處理爐是一種先進的熱處理設備，近年來得到了很大的發展。工件在超低氣壓空間中加熱和冷卻。它具有質量好、節能、安全、污染少的優點。
2.真空爐制造時，應保證不漏氣、不漏水。真空爐的爐體和爐蓋的密封是用橡膠零件制成的，所以需要用擋水板冷卻。如果水漏進爐子，爐子的溫度會很高，會引起爆炸。真空爐加工的工件應清除表面油污，并防止淬火槽的油蒸氣進入爐內。這些油蒸氣與空氣混合后會形成爆炸性的大氣，一旦有明火或電就會爆炸。因此，真空爐加電后，應關閉爐門，在通電加熱前，可將爐抽真空。
3.真空爐發熱體使用低壓電，但供電電壓仍為380V，操作時仍需安全用電。