1、氰化鉀(KCN)不行與酸類混置，因兩者可發生劇毒之KCN氣體。
2、除了做試驗外，不要停留在高溫爐管區。
3、一旦發現有阻礙安全之事物時，請當即通知有關人員(技術員等)。
4、請節省純水用量。
5、試驗工作結束時，若無人持續運用，請關特別氣體，保留N2流動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。
6、處理HF時，請戴手套，如不當心碰到HF時，請馬上沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。
7、長短推桿之前端，在還沒運用到時，請朝上避免污染。
8、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，避免污染爐管。
9、石英玻璃制品請當心運用，避免決裂，引起嚴重割傷。
10、避免吸入從真空氣氛爐或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，避免因排水不良形成地板漬水。