真空燒結爐主要用于活性金屬和難溶金屬以及硬質合金，磁性材料和不銹鋼等的燒結。真空燒結爐實際上是低壓（減壓）燒結。真空度愈高，愈接近中性氣氛，愈與材料不發生任何化學反應。
真空燒結爐的主要優點是：
（1）真空有利于排除吸附氣體，對促進燒結后期的收縮作用明顯。
（2）真空有利于硅，鋁，鎂，鈣等雜質或其氧化物的排除，起到提純材料的作用。
（3）真空可改善液相燒結的潤濕性，有利于燒結過程中的收縮和改善合金的組織結構。
（4）真空是理想的惰性氣氛，當不宜用其他還原性或惰性氣體時，或者對容易出現脫碳，滲碳的材料，均可采用真空燒結爐。
（5）減少氣氛中的有害成分（水，氧，氮等）對產品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至露點-40℃較為困難；而真空燒結時，真空度只要在數百Pa就相當于含水量為露點-40℃。
真空下的液相燒結，發生粘結金屬的揮發損失是個重要問題。這不僅改變和影響合金的成分和組織結構，而且對燒結過程本身也起阻礙作用。粘結金屬的揮發損失，主要是在燒結后期（即保溫階段）發生。保溫時間越長，粘結金屬的揮發損失越多。為此，化物雜質，水分等與材料中的碳發生反應，生成CO隨爐排出。此時爐壓明顯提高，合金中的總碳量降低。顯然，碳含量的變化取決于原材料粉末中的氧含量以及燒結時的真空度。兩者越高時，生成一氧化碳的反映越容易進行，脫碳也越嚴重。
專業真空燒結爐的真空燒結與氣體保護燒結的工藝沒有根本區別，只是燒結溫度低一些，一般可降低100~150℃。這有利于延長真空燒結爐的壽命和降低電能的消耗。