真空爐可分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等多種工藝的熱處理爐，首要用來處理金屬資料，但是據說有3種資料是不適合用真空爐來進行處理
1、碳素鋼。從成本視點考慮，碳鋼價格較低，制品件價格較低，用真空爐處理實屬糟蹋，除非高利潤工件或許工件已經沒有加工余量，對表面質量要求苛刻時的權宜之計。
2、高溫對N元素靈敏，易構成有害果的資料。真空爐為避免合金元素高溫時揮發，通常在高溫下充高純氮氣保持分壓，冷卻時般選用充氮冷卻。故該類資料不宜用真空爐處理。
3、某些使用殊工藝的資料（工件）。比方為獲取 佳機械性能，有些工件要求取得貝氏體，般用等溫淬火來完成，真空熱處理爐很難完成；再如T10鋼，要求高硬度、低變形，般用水淬油冷工藝完成，真空爐雖然可以用高壓氣淬取得高硬度，但因在Ms點以下溫度冷速較快，變形較大。