真空爐溫度反常，包含溫度過高報警，或閃現溫度無法到達設定值。太高溫度報警失靈提高方法：首要檢查作業區域的恒溫參數是否正常，參閱其他正常運用恒溫器的一切參數證明。根據電路圖檢查相應作業區的固態繼電器輸出是否擊穿，用方法：斷電，用萬用表電阻測量固態繼電器輸出電阻兩點之間，正常阻力將抵達幾兆瓦或更高，假設是擊穿，幾乎沒有阻力，有必要用相同類型的新類型替代。
在發起電源的情況下，手顫動熱電偶探頭內相應的作業區域，檢查相應的恒溫器是否閃現大范圍的跳動，假設出現這種現象，則熱電偶探頭接觸不良，需求替換新的的。真空爐閃現溫度低至小于設定值相同，首要檢查作業區溫控器參數是否正常，是否有輸出信號。
檢查相應作業區域內的熱電偶是否損壞。要檢查這些熱電偶是否出色，可將恒溫器上的熱電偶連接到恒溫器，并調查溫度閃現。假設熱電偶確實損壞，有必要替換。（留意：假設替換的熱電偶是內腔里的，還會涉及到真空密封功能，其他詳解）假設恒溫器，熱電偶沒有問題，需求檢驗加熱管是否正常運轉。
方法：電源翻開后，依照電路圖開端加熱，直接用檢驗筆檢驗連接到導線的加熱管的相應作業區域（在白色高溫下的固體輸出線是）看是否有電。假設有電抵達，還需要運用夾具來檢查其時作業區域之間的其時差異，在正常情況下，差異不明顯
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