冷卻水路應堅持暢透，否則水溫升高形成停機。這是真空爐作業常常披忽視的問題當無人辦理時可能會導致真空爐的嚴重破壞。用生物分解化學輔佐方法處理冷卻水，目的是堅持礦物質呈懸浮態，削減橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流疏通。
這一般選用一種自動設備來結束，它能夠監測水的導電性，自動補償化學劑，沖冼水路，增加新鮮水。與隸屬蒸氣過濾系統合作，這種方法還能夠保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統中剩下礦物質堆積。在系統作業安穩后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。
真空爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次分量丟掉查驗以查看處理的效果。對渙散泵的蛇形管冷卻器有必要特別注意。應該常常查看。假如阻塞了，渙散泵將會過熱并丟失功用，并且還進一步引起渙散泵加熱器焚毀，形成貴重的、費時的修補。當蛇形冷卻水管阻塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖刷。
關鍵是做好停電應急方法，控制柜應有電源急停設備。有必要做好停電的防備方法！碰上俄然停電時可用發電機抽冷卻水，也可沖氮氣冷卻真空爐。防止真空爐因停電而超溫損壞密封圈。真空爐的真空抽氣系統中配備與電源聯鎖的自動閥門，在產生停電事端時能夠關斷抽氣管路，防止空氣和真空泵油進入爐內。