真空爐是指在挨近真空狀態下經過電熱元件加熱的工業爐。真空爐冷卻體系是真空爐的重要部分。冷卻水路應堅持暢透，否則水溫升高形成停機。這是真空爐作業經常被忽視的問題，當無人管理時可能會導致真空爐的重大破壞。
真空爐鉬加熱體長時間使用以后會出現變硬、收縮、下墜、先倒伏搭接、后熔斷（融）等現象。為使真空爐加熱絲在高溫下存在必要的強度，防行硬化、坍毀或下垂，首先要設計真空爐加熱絲的結構尺寸，如螺旋形電阻絲，要注意加熱元件彎徑、螺距和螺旋中徑等。加熱體快要松靠真空爐保溫襯，在保溫襯擱上95陶瓷件，恰當留有其脹大空間。放置方位要合適，一般在100——200mm一個，并能堅固鉤住避免電阻絲趴上。此外應避免爐絲相互之間直接觸摸（短路），一般要墊隔離片。
用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是堅持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流疏通。這一般采用一種自動裝置來完結，它能夠監測水的導電性，自動彌補化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與隸屬蒸氣過濾體系合作，這種方法還能夠保證水的pH 值控制， 避免在冷卻水體系中多余礦物質沉積。在體系作業穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。
真空回火爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路體系中，每年做一次重量損失查驗以查看處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該經常查看。假如堵塞了，擴散泵將會過熱并損失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，形成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
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