真空爐在模具生產中發揮著不可替代的效果，首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。真空爐可用于退火、脫氣、固溶熱處理、淬火、回火和沉積硬化等工藝。在通入適當介質后，也可用于化學熱處理。
真空爐真空中的退火、脫氣、固溶處理首要用于純潔程度或表面質量要求高的工件，如難熔金屬的軟化和去應力、不銹鋼和鎳基合金的固溶處理、鈦和鈦合金的脫氣處理、軟磁合金改善導磁率和矯頑力的退火，以及要求亮光的碳鋼、低合金鋼和銅等的亮光退火。真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并當即送入淬火油槽，快速冷卻。假如需要高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉積硬化仍應在真空爐中進行。