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真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。石墨在真空爐上的使用，大大簡化了真空爐的規劃制造，減少了像鎢、鉬、鉭、不銹鋼等金屬的耗費，降低了成本，提高了真空爐的某些性能和擴展了真空爐的使用范圍。

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