在使用真空爐進行工作的時候，最主要的就是為了加熱，在加熱過程中需要要求加熱速率快，選用的加熱材料一定要保證熱導率好，并且在高溫下不能產生變形和大量的熱損失，要保證在使用過程中在一段時間內性能要穩定。
在選取加熱元件時也要根據自己所需處理產品的化學性能，以免加熱元件的材質影響到工件的質量。因此，真空爐要合理的選取加熱元件。
常用的加熱元件有石墨和不銹鋼。
石墨加熱元件：石墨具有耐高溫、熱膨脹小，抗熱沖擊能力強等特性，其機械強度在2500℃以下碎溫度的上升而提高，1700℃左右最佳，超過所有的氧化物和金屬。石墨材料熔點高，蒸氣壓低，真空爐的氣氛中含有低濃度的碳，將與殘余氣體中的氧氣和水蒸氣反應產生凈化效果，大大簡化了真空系統，降低了成本。在真空爐的制作過程中，一般用于熱處理時采用的加熱元件是石墨，包括其爐床支座、保溫屏、連接板、連接螺母、通氣管等。
不銹鋼加熱元件：體積小，功率大，熱響應快，控溫精度高，綜合熱效率高，應用范圍寬，適應性強，加熱溫度高，壽命長，可靠性高。機械化程度高，可以按照客戶的要求彎成各種形狀、輕便、拆裝方便。結構簡單、用料少、成本便宜，而且使用壽命長、熱轉換率高，同時節能省電。
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