真空爐的發熱元件一般呈圓形安置。真空加熱相對一般爐來說，其傳熱方法只有輻射，沒有傳導和對流；非真空加熱時有傳導、對流和輻射三種方法，其中對流、傳導根據壓力的不同又與一般爐(常規壓力)同。
壓力小于1×105Pa(肯定壓力，一般爐的近似作業壓力)時，其對流、傳導作用小于一般爐;壓力挨近作業真空度(2Pa)時，其對流、傳導作用根本不存在,工件升溫緩慢，特別是低于600℃以下加熱時，加熱更為緩慢，工件溫度相對控溫熱電偶的溫度有一定的滯后現象。
真空爐的爐溫均勻性的丈量不同于一般爐，丈量時需確保爐體的正常作業條件下的真空度及壓升率，才能正確測定爐溫。由于真空爐的傳熱方法與一般爐不同，實踐測溫過程標明控制熱電偶的溫度值在保溫初期與有用加熱區丈量熱電偶的溫度值的差別較大。在真空作業狀態中，有用加熱區的溫度誤差在正常保溫時間內可以到達±5 ℃，滿意工藝需要。
