因為真空爐的種類和型式許多，因此維護和檢修的項目各不相同，修理查看內容應依據爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。
日常檢修
1、對有氣鎮功能的其空泵，應在每日開爐前查看并依據需耍敞開30min，以掃除泵油中的水分。
2、經常查看冷卻水、壓縮空氣、液壓系統的壓力以及冷卻水的流動狀況。
3、對爐門的橡膠密封件和法蘭面應在關護門之前進行查看，不能有砂粒和雜物，用千凈繃布擦拭橡膠密封圈及法蘭面，再均勻涂上真空脂后方可封閉爐門。
4、真空爐工件入爐處理前有必要清洗。油淬處理后應將浸過油的料框、運載部件上的油悉數清洗潔凈。
5、風冷電機一般為常用電機，在真空下不能發動一定要充氣今后才干發動并應有電氣聯鎖維護裝置維護。
6、羅茨泵應在133Pa以上的真空度才干發動，也應有電氣聯鎖維護裝置維護。
別的對有壓縮空氣的管路，每天應敞開排水閥放出積水。經常留意冷卻水的進出水溫指示是否正常，經常查看接觸電極接頭、爐門、變壓器冷卻水管等部位是否有部分升溫異常狀況。
毛病現象毛病原因、處理辦法
1、真空度低：泵油污染、過少或過稀，清洗真空泵，替換新真空泵油。
2、抽氣時刻太短：延伸抽氣時刻。
3、抽氣過濾器阻塞：清洗或替換排氣過濾器。
4、有漏氣處：抽暇后封閉電源，查看電磁閥、管接頭、真空泵吸氣閥及工作室周邊密封墊有無漏氣處。
5、噪音大：真空泵聯軸器磨損或破裂，替換。
6、排氣過濾器阻塞或裝置位置不正：清洗或替換排氣過濾器并裝置正確。
7、真空泵噴油：吸氣閥O型圈掉落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽氣嘴，取出壓簧和吸氣閥，悄悄拉伸O型圈幾回，從頭將其嵌入凹槽內，再裝置即可。
8、旋片磨損：替換旋片。
9、真空泵漏油：回油閥阻塞，卸下回油閥，清洗(詳見說明書)。
10、油窗松動：放油后，卸下油窗，纏上生料帶或薄塑料薄膜。